Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:
Анализатор влажности чистых газов Pura
Анализатор «Пура» используется для измерения температуры точки росы чистых газов в полупроводниковой промышленности.
Прибор основан на импедансной технологии.
Прибор выпускается в двух модификациях: обычная и Pura Plus для чистых комнат (поставляется в специальной упаковке).
Обе модификации имеют искробезопасное исполнение.
При необходимости локального отображения влажности прибор может быть укомплектован блоками электроники с дисплеями.
Монтажная длина приборов составляет 120 мм и соответствует принятым в отрасли стандартам.
Для установки приборов используются фитинги VCR.
Метрологические характеристики
|
Диапазон измерения ТТР |
−120...-40 °С |
|
Погрешность измерения |
-120...-100 °C ТТР |
±4 °C ТТР |
|
-100...-60 °C ТТР |
±2 °C ТТР |
|
-60...-40 °C ТТР |
±1 °C ТТР |
Анализируемый газ в сочетании с водяными парами не должен вызывать коррозию чувствительного элемента
Требования к пробе
|
Давление |
0...240 бар |
|
Температура |
−60...+40 °C |
|
Расход |
1...5 л/мин. |
Интеграция с системой управления
|
Аналоговый выход |
4...20 мА |
Корпус и питание
|
Класс защиты корпуса |
зависит от модификации и исполнения |
|
Габаритные размеры |
 |
|
Питание |
12...28 В |
|
Вес |
0,4 кг |